全氟橡膠耐熱性佳O型圈密封圈 G3G4G5 日本NOKO型圈密封圈
全氟橡膠FFPM
全氟橡膠(Perfluoroelastomer)
優(yōu)點(diǎn):
· 耐熱特性好
· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性
· 低Outgassing 特性
· 優(yōu)異之抗Plasma特性
缺點(diǎn):
· 耐低溫特性較差
· 原料價(jià)格較高
· 生產(chǎn)難度較高
· 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
規(guī)格:
G3/O型圈 ID2.40*3.10
G4/O型圈 G5/O型圈 G6/O型圈 G6/O型圈ID3.40*3.10 ID4.40*3.10 ID5.40*3.10 ID5.40*3.10
G7/O型圈 G8/O型圈 G9/O型圈 G10/O型圈
ID6.40*3.10 ID7.40*3.10 ID8.40*3.10 ID9.40*3.10
G11/O型圈 G12/O型圈 G13/O型圈 G14/O型圈
ID10.40*3.10 ID11.40*3.10 ID12.40*3.10 ID13.40*3.10
G15/O型圈 G16/O型圈 G17/O型圈 G18/O型圈
ID14.40*3.10 ID15.40*3.10 ID16.40*3.10 ID17.40*3.10
G19/O型圈 G20/O型圈 G21/O型圈 G22/O型圈
ID18.40*3.10 ID19.40*3.10 ID20.40*3.10 ID21.80*3.10
G23/O型圈 G24/O型圈 G25/O型圈 G30/O型圈
ID22.40*3.10 ID23.40*3.10 ID24.40*3.10 ID29.40*3.10