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多晶硅片質(zhì)量檢驗(yàn)規(guī)范實(shí)施細(xì)則  
表面質(zhì)量
    目測(cè)外觀符合附表1相關(guān)要求。對(duì)整包硅片重點(diǎn)查看B4，B7、TTV、缺口、碎片、油污等情況；整包里的B4片在迎光側(cè)表現(xiàn)為“亮點(diǎn)”背光側(cè)較暗；B7、TTV片手感表現(xiàn)較重的，利用分選機(jī)重新分選；油污一般為斑點(diǎn)形式，擦拭不掉，無論面積大小均需重新清洗。
外型尺寸
通過硅片自動(dòng)分選機(jī)分選判定，符合附表1相關(guān)要求。
電性能
依據(jù)硅錠／硅塊測(cè)試數(shù)據(jù)判定，必要時(shí)用相關(guān)測(cè)試儀器核實(shí)。
抽檢方法
（1）對(duì)硅片車間自檢合格的包裝硅片或直傳片，采取一次抽檢（抽檢比例８％），不合格比例不高于０.5％。每次抽檢不合格率大于0.5%時(shí)，通知清洗班長(zhǎng)重新分選，對(duì)重新分選片抽檢合格后可入庫(kù)。
（2）抽?。福ス杵M(jìn)行檢測(cè)，其結(jié)果作為該批硅片合格的判定依據(jù)。
 注：針對(duì)分選機(jī)現(xiàn)狀，分選機(jī)分選A等硅片由清洗工序包裝時(shí)進(jìn)行簡(jiǎn)易分選；B3、B5、B9硅片人工分選，B7、B8硅片分選時(shí)加大抽檢力度，避免不合格硅片混入。

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